ICS 105型集成电路扫描仪,可对集成电路和小型组件进行高频近场测量。根据使用的探头情况,可在(50x50x50) mm的空间范围内对磁场或电场进行测量,并在电脑上显示测量结果。此外,探头可自动旋转以确定磁场的准确方向。可单独订购的ICR型近场微探头适用于 1.5MHz 至 6GHz 频率范围内的测量,空间分辨率可达 50μm。
ICS 105 set 包含以下附件:
ICS 105 set 推荐选件
应用
电源电压
110 / 230 V
接口
USB
X,Y,Z轴
最大过程路径
(50 x 50 x 50) mm / α-Rotation ±180°
最小过程路径
(10 x 10 x 10) µm / α-Rotation 1°
移动速度
(10 x 10 x 5) mm/s / α-Rotation 90°/s
重量
23 kg
尺寸 (L x W x H)
(350 x 400 x 420) mm
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