FLS 106型IC扫描仪可以在电子组件的集成电路上方，借助ICR-近场微探头对频率在6GHz以内的高频磁场或电场进行高分辨率（50-100µm）测量。
FLS 106 set 包含以下附件：
FLS 106 set 推荐选件
电源电压
110 / 230 V
接口
USB
X,Y,Z轴
最大过程路径
(400 x 600 x 120) mm / α-Rotation ±180°
最小过程路径
(20 x 20 x 20) µm / α-Rotation 1°
移动速度
(20 x 25 x 10) mm/s / α-Rotation 90°/s
重量
75 kg
尺寸 (L x W x H)
(1030 x 775 x 900) mm
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